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场发射扫描电子显微镜
来源:华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室 发布时间:2014-05-22 阅读量:

一、简介

    我实验室所配置的场发射扫描电子显微镜由三个部分组成,其型号及生产厂家如下:

1)JSM-7600F场发射扫描电子显微镜日本电子株式会社(JEOL);

2)IncaX-Max 50能谱仪英国牛津仪器分析有限公司;

3)HKLNordlys S电子背散射衍射仪英国牛津仪器分析有限公司。

JSM-7600F场发射扫描电子显微镜可以对各种类型的样品进行高分辨图像观察,结合能谱仪(IncaX-Max 50)能够对微区进行成分分析及线分布、面分布分析,结合电子背散射衍射仪(HKLNordlys S)可对晶体样品的晶粒取向和取向关系等进行分析,获得关于样品的大量的晶体学信息。

 

二、主要技术参数

1、场发射扫描电子显微镜(JSM-7600F):

1)二次电子分辨率:1.0 nm(加速电压=15KV,放大倍数=30万倍),1.5 nm(加速电压=1KV,放大倍数=17万倍,GB模式);

2)背散射电子分辨率:3.0 nm(加速电压=15KV,放大倍数=10万倍);

3)放大倍数范围: ×25 to ×1000000;

4)加速电压范围:0.1KV-30KV 。

 

2、能谱仪(Inca X-Max 50):

1)分辨率:在MnKa线处测量分辨率≦127 eV;

2)轻元素检测:轻元素BN可以良好区分。

 

3、电子背散射衍射仪(HKLNordlys S):

1)花样MAD值<0.5;

2)最小探头工作距离可达7mm;

3)最快解析速度可达100点/秒。

三、主要功能及应用范围

广泛应用于物理、化学、生物、地学、矿物、金属、半导体、陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的研究。

扫描电子显微镜主要功能:材料表面的高分辨图像观察。

能谱仪主要功能:谱定性、定量、线扫描、面分布。

电子背散射衍射仪主要功能:7个晶系鉴别,取向和取向差分析,晶界特征分布,织构分析(极图、反极图、ODF)等。

 


JSM7600F场发射扫描电镜预约须知

1.  网上预约填写申请单时,请在委托单中详细注明样品数量、状态、尺寸规格、有无特殊性质以及是否需要喷金。

2.  预约完成后,委托单必须填写完整:详细说明实验内容及要求和样品信息(样品外观及性质描述栏必须如实注明状态、特殊性质、尺寸规格等),预约不完整的将予以退回重约。

3.  欲测试的样品必须符合FESEM的测试要求。原则上禁止做磁性、含挥发性成分或在强电子束流下易分解的样品;

4.  制样要求正确、规范,喷金样品需要提前半天制备;不熟悉制样要求的请提前咨询管理人员或操作人员;

5.  建议测试时由熟悉测试要求的老师或同学(1-2人)现场观察,对测试过程中的任何疑问或对测试结果有特别要求请当时向管理人员或操作人员说明;

6.实验者应按照预约时间前来实验,如无法按时前来,请提前一天在网上取消预约并致电电镜助理管理员或主管教师备案,否则将按预约时长计费;

7.  周五下午330-530为设备维护时间,原则上不提供测试服务。


注:如送样人员提供虚假信息,造成仪器故障事故,须承担相应的责任。