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原位纳米压痕仪
来源:华中科技大学材料成形与模具技术国家重点实验室 发布时间:2014-05-22 阅读量:

原位纳米压痕仪

 

一、简介

仪器型号:TI750

生产厂家:美国Hysitron

美国Hysitron生产的TI750型号的原位微纳米力学测试系统包含先进数控模块、原位SPM(扫描探针显微技术)成像、数码变焦光学系统、自动定位平台、计算机工作站、专用控制软件、环境隔离罩、防震隔离系统、加热系统、多元化压头(含压痕用Berkovich压头、压缩专用特制平压头、弯曲实验专用压头、磨损实验专用压头、划痕专用压头及高温实验专用压头)、专用标样等,能够实现薄膜或其他金属或非金属材料的压痕、划痕、摩擦磨损、微弯曲、高温测试及微弯曲、NanoDMA、模量成像等功能。

 

二、主要技术参数

1、纳米压痕测试单元

1)可实现70nN~30mN不同加载载荷,载荷分辨率为3nN

2)位移分辨率:<0.006nm,最小位移:<0.2nm,最大位移:5um

3)室温热漂移:<0.05nm/s

4)更换压头时间:60s

2、纳米划痕测试单元:

1)最大划痕力(Z方向):10mN

2)最大摩擦力(XY方向):2mN

3)摩擦力分辨率(XY方向):50nN

4)最大划痕长度:15um

5)最大划痕速度:100um/s

3、纳米摩擦磨损测试单元:

1)摩擦力载荷分辨率:5nN

2)最大摩擦力测量的正压力:≥5mN

3)磨损面积范围:≥50umx50um

4)磨损速率:≤180um/s

4Nano DMA测试单元:

1)频率范围:0.1Hz-300Hz;

2)最大动态振幅力:5mN;

3)最大准静态力:10mN;

4)载荷噪声层:<30nN;

5)最大动态振幅:2.5μm;

6)最大准静态位移:5μm;

7)位移噪声层:<0.2nm。

5、模量成像测试单元:

1) 最佳测试频率:200Hz;

2)一般采集像素点:256*256;

3)最大map面积:>60μm x 60μm;

4)Mechanical Property Maps分辨率:≤5nm。

 

三、应用范围:

广泛应用于薄膜、金属及非金属材料的压痕、划痕、摩擦磨损、微弯曲、高温测试及微弯曲anoDMA、模量成像等功能测试。